新闻网讯　6月12日，国家重大科技专项专家、中国科学院上海微系统与信息技术研究所王曦教授来到我校数字制造装备与技术国家重点实验室，与机械学院、材料学院相关教授专家进行学术交流，并于当天下午在东八楼601室作“集成电路国家专项解读与新型硅基SOI材料进展”的专题学术报告。报告会由机械学院蒋庆教授主持，机械学院、材料学院50余名师生人前往聆听。

　　王曦教授的报告分两大部分。第一部分介绍国家重大科技专项的宗旨、指导思想、实施原则、总体目标、战略目标及任务。王教授指出，国家重大科技专项是从国家的战略需求出发，在集成电路及制造技术、高端制造装备与材料、市场需求等大背景下而设立的。王曦教授详尽地解读了集成电路国家重大专项 “十一五”“十二五”“十三五”等三个五年计划的工作要点，从装备、工艺、材料和前沿科技等方面对“十一五”期间该专项的目标重点给予了特别说明。

　　第二部分是对新型硅基SOI材料进展的报告。王曦教授介绍说，中国对SOI材料发展和研究是从上世纪八十年代开始，那时仅仅是基础探索，经过二十多年的发展，已成功探索出了SOI材料制备过程中的关键技术——离子注入，现在已经产业化。王曦教授还介绍了他们独创的SIMBOND键合原膜SOI技术，此技术已经申请了国际专利，并且通过成立高科技公司，实现技术成果转移，更好的使科技服务于社会主义建设。

　　在互动环节中，王曦教授还对在场给位老师和学生的所提出的问题做了详细解答，以帮助在座师生更好地了解集成电路国家专项与新型硅基SOI材料技术进展。最后，蒋庆教授代表数字制造装备与技术国家重点实验室及在座师生向王曦教授表示感谢，感谢他的精彩报告。

　　据悉，王曦教授现任中国科学院上海微系统与信息技术研究所党委书记兼常务副所长，上海新傲科技有限公司董事长，国家重大科技专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》总体专家组副组长，国家重大科技专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》上海总体专家组负责人。